半导体光刻胶及关键材料研究和产业化（Ⅱ期一标段）真空设备采购项目澄清文件

各潜在投标人：
现对半导体光刻胶及关键材料研究和产业化（Ⅱ期一标段真空设备采购项目招标文件澄清如下：
1.此设备招标人工况为前期工作压力约30-40KPa，会有大量水蒸气产生，待水蒸气量减小后真空达到≤100Pa，厂家选型确定为：800L/s螺杆真空泵（前级，两台并联），600L/s罗茨真空泵（中级），1200L/s罗茨真空泵（主级）能更好的满足招标人工况，建议以此配置进行投标报价工作。
2.螺杆真空泵是变频的，罗茨泵为定频，需配现场防爆操作柜。
3.投标文件递交的截止时间由原“2026年9月22日10时00分（北京时间）”变更为“2026年9月28日14时00分（北京时间）”。
其他内容不变。

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