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桌面型掩膜对准紫外光刻机

10小时前招标公告-公告网上竞价北京 关注

基本信息

省份/直辖市 北京 所属地区
采购单位 东南大学 项目联系方式
更多联系方式 孙老师 151****5028 025-****0324
以上信息为大数据平台自动计算结果,如有误差以正文为准

正文

基本信息:

申购单号: CB102862026001080
成交总额: 100000.00(人民币)
申购主题: 紫外光刻机
送货时间: 合同签订后7天内送达
采购单位: 东南大学
项目要求: 免费上门安装(含材料费)
竞价开始时间: 2026-09-20 09:46:36
竞价截至时间: 2026-09-23 09:00:00
收货地址: ******
币种: 人民币
付款方式: 货到验收合格后付款
质疑说明: 如果对成交结果有异议,请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑

采购明细:

序号 采购项 品牌/型号/厂家/产地 规格参数 质保及售后服务 数量单位/单价 成交总价 成交供应商
1 桌面型掩膜对准紫外光刻机 品牌:中芯热成
型号:XT-01-UV litho-手动 版
厂家:中芯热成科技(北京有限责任公司)
产地:中国
1、 曝光类型:单面; 2、 曝光面积:110×110mm; 3、 曝光照度不均匀性:≤±5%; 4、 紫外光束角:≤5° 5、 ****中心波长:365nm; 6、 紫外光源时间:≥8 万小时; 7、 采用电子快门; 8、 曝光分辨率:2μm; 9、 显微镜扫描范围:X:±50mm,Y:±50mm; 10、 对准范围:X、Y 调节±6.5mm,Z向移动范围10mm,Q 向 360°粗调,±5°精调; 11、 套刻精度:2μm 12、 光刻胶:正性光刻胶 12、 曝光方式:接触式曝光; 13、 显微系统:单目 CCD 显微系统,2000 倍金相同轴光显微镜;光学放大倍数 0.7X-4.5X;高清 2K 工业 CCD 相机;LED 同轴光源;13.3 寸挂屏; 14、 掩模版尺寸:≤127×127mm; 15、 基片尺寸:≤Φ102mm; 16、 基片厚度:≤5mm; 17、 曝光定时:0~999.9 秒(可调); 18、外形尺寸:603mm×535mm×723mm(高度不含支脚) 19、 电源:单相 AC220V 50HZ; 20、 设备所需能源:220V±10%,50HZ; 质保1年 数量:1.0(台)
单价:100000.00(人民币)
100000.00(人民币) 中芯热成科技(北京)有限责任公司
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本公告地址:https://www.jjzbcn.com/view/12104/txMy06ABLRKCxEZf3fUs.html

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