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基本信息：
| 申购主题： | 紫外光刻机 |
| 送货时间： | 合同签订后7天内送达 |
| 报价要求： | 国产含税 |
| 项目要求： | 免费上门安装（含材料费） |
| 发票类型： | 增值税专用发票 |
| 付款方式： | 货到验收合格后付款 |
| 收货地址： | 江苏省/南京市/江宁区/**** |
采购明细：
| 序号 | 设备名称 | 数量/单位 | 预算单价 | 品牌 | 型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 | 附件 |
| 1 | 桌面型掩膜对准紫外光刻机 | 1.0（台） | （人民币） | 中芯热成 | XT-01-UV litho-手动 版 | 1、 曝光类型：单面； 2、 曝光面积：110×110mm； 3、 曝光照度不均匀性：≤±5%； 4、 紫外光束角：≤5° 5、 ****中心波长：365nm； 6、 紫外光源时间：≥8 万小时； 7、 采用电子快门； 8、 曝光分辨率：2μm； 9、 显微镜扫描范围：X：±50mm，Y：±50mm； 10、 对准范围：X、Y 调节±6.5mm，Z向移动范围10mm，Q 向 360°粗调，±5°精调； 11、 套刻精度：2μm 12、 光刻胶：正性光刻胶 12、 曝光方式：接触式曝光； 13、 显微系统：单目 CCD 显微系统，2000 倍金相同轴光显微镜；光学放大倍数 0.7X-4.5X;高清 2K 工业 CCD 相机；LED 同轴光源；13.3 寸挂屏； 14、 掩模版尺寸：≤127×127mm； 15、 基片尺寸：≤Φ102mm； 16、 基片厚度：≤5mm； 17、 曝光定时：0～999.9 秒（可调）； 18、外形尺寸：603mm×535mm×723mm(高度不含支脚) 19、 电源：单相 AC220V 50HZ； 20、 设备所需能源：220V±10%，50HZ； | 质保1年 |
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本公告地址：https://www.jjzbcn.com/view/12104/7Ud9vKABni4p5U9XrfsV.html
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